量测服务





Talysurf CCI Lite 系统规格
系统

量测方式
量测模式
Z轴扫描
检视范围
光源
物镜座
取样点数

3D 非接触式量测 (>1 百万划素)
Taylor Hobson CCI干涉技术
超高精度闭路扫描
最高6.6 mm x 6.6 mm (依物镜规格)
绿光LED
三镜头转台
1024 x 1024

工作平台

工件最大尺寸
工件最大重量
自动X-Y平台移动范围

水平X and Y = 150 mm; 垂直Z = 100 mm
10 kg
112 x 75 mm

性能

Z 轴垂直范围
最大垂直分辨率
系统杂讯
量测重复性
量测面积(X, Y)
最大取样点数
光学分辨率 (X, Y)
阶高重复性
量测时间

2.2 mm
0.01 nm [0.1 Å]
< 0.08 nm [0.8 Å] 1
0.02 nm [0.2 Å]
0.33 mm - 6.6 mm
1,048,576
0.4 – 0.6 μm
< 0.1%
5 - 40 秒

1024 x 1024 划数
干涉物镜

倍率  量测面积(X, Y)  取点分辨率  斜率  设计
(um)          (um)      (deg)
20倍    825 x 825       0.83      14.6  米洛
50倍    330 x 330       0.33      27.7  米洛

Talysurf CCI Lite 分析参数
2D参数 3D参数

外形
Pa, Pc, Pdc*, Pdq, PHSC*, PHtp, Pku, Plo, Plq,
Pmr*, Pp, PPc*, Pq, Prms, Psk, PSm, Pt, Ptp,
Pv, Py, Pz, Pz(JIS), P3z, Pfd, Pda, Pla, PH, PD,
PS, Pvo

波纹
Wa, Wc, Wdc*, Wdq, WHSC*, WHtp, Wku, Wlo,
Wlq, Wmr*, Wp, WPc*, Wq, Wrms, Wsk, WSm,
Wt, Wtm, Wtp, Wv, Wy, Wz, Wz(JIS), W3z, Wda,
Wla, Wmax, WH, WD, WS, Wvo

粗糙度
Ra, Rc, Rdc, Rdq, RHSC, RHtp, Rku, Rlo, Rlq,
Rmr, Rp, RPc, Rq, Rrms, Rsk, RSm, Rt, Rtm,
Rtp, Rv, Ry, Rz, Rz(JIS), R3z, Rfd, Rda, Rla,
Rmax, RH, RD, RS, Rvo

Rk (DIN 4776, ISO 13565-2)
A1, A2, Mr1, Mr2, Rk, Rpk, Rvk, Rpk, Rvk

R&W (ISO 12085)
AR, AW, HTrc, Pt, R, Rke, Rpke, Rvke, Rx, Trc,
W, Wte, Wx, Kr, Nr, SR, SAR, Kw, Nw, SW, SAW

Straightness (ISO 12780)
STRt, STRp, STRv, STRq

Amplitude
Sa, Sq, Sp, Sv, St, Ssk, Sku, Sz

Area & Volume
Stp, SHtp, Smmr, Smvr, Smr, Sdc

Functional
Sk, Spk, Svk, Sr1, Sr2, Sbi, Sci, Svi,
Sm, Vv, Vm, Vmp, Vmc, Vvc, Vvv

Flatness
FLt, FLTp, FLTs, FLTq, FLTv

Hybrid & Spatial
Sdq, Ssc, Sdr
Spc, Sds, Str, Sal, Std, Sfd

资料分析
Step height, Lateral Distance, Pitch,
Angle Measurement, Peak Count,
Interactive Abbott-Firestone Curve,
Volume of Islands, Autocorrelation,
Fractal Analysis, Motifs Analysis,
Frequency Analysis, Data Patching

滤波器
Gaussian, Robust Gaussian, Spline, Wavelet,
Robust Wavelet and Morphological